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WIS1000被設(shè)計(jì)用于檢測(cè)(目檢)6英寸和8英寸的晶圓。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)配 有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)加載端口，可容納6英寸和8英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓匣。 操作員可使用該系統(tǒng)進(jìn)行晶圓檢測(cè)、并把檢測(cè)結(jié)果記錄在晶圓圖上， 并通過(guò)晶圓圖的空間分布情況及其模型分析，找出可能發(fā)生低良率 的原因。此設(shè)備集成了尼康(Nikon)晶圓自動(dòng)加載器，高倍率顯微 鏡和可編程XY平臺(tái)，用于宏觀和微觀檢查。它不僅可以對(duì)晶圓正面 與背面進(jìn)行宏觀檢查，還可以對(duì)晶圓正面進(jìn)行微觀檢查。另外，可 選擇升級(jí)噴墨打標(biāo)系統(tǒng)，用于標(biāo)記在已檢測(cè)的瑕疵芯片。

主要特點(diǎn) 

? 專為6英寸和8英寸晶圓設(shè)計(jì) 

? 微觀和宏觀檢查（包括背面宏觀檢查） 

? 明視野、暗視野和NIC模式 

? 尼康自動(dòng)加載器和顯微鏡 

? 帶有5個(gè)物鏡的電動(dòng)換鏡旋座（2.5x, 5x， 10x，20x，50x） 

? 配備晶圓離子中和器和可編程XY工作臺(tái) 

? 配備晶圓對(duì)準(zhǔn)器和晶圓映射 

? 噴墨打標(biāo)機(jī)進(jìn)行瑕疪標(biāo)記(可升級(jí)) 

? TCP-IP和RS232數(shù)據(jù)接口/SECS/GEM數(shù)據(jù)通 信（可升級(jí)） 

? 配備配方控制程序、晶圓圖和顯微鏡組件 控制的軟件用戶界面。