PPI3300被設(shè)計(jì)用于檢測(cè)8英寸和12英寸圖案晶圓表面缺陷,如劃 痕、墨點(diǎn)污跡、刮傷、水痕和芯片邊緣裂紋。系統(tǒng)采用分辨率為 26.1MP的高速 CMOS相機(jī)和 CoaXPress接口。5120x5120高分 辨率、90FPS的高速和全局快門的組合為檢測(cè)應(yīng)用創(chuàng)造了新標(biāo)準(zhǔn)。 CF物鏡用于在保持高NA的同時(shí)延長(zhǎng)聚焦距離,從而生成清晰、對(duì) 比度和分辨率高的圖像。晶圓XY檢測(cè)平臺(tái)集成了旋轉(zhuǎn)臺(tái)和抗震平 臺(tái),可提供準(zhǔn)確檢測(cè)和高產(chǎn)量。自動(dòng)裝載、用于OCR和二維碼讀 取的晶圓ID讀取器以及自動(dòng)缺陷檢測(cè)都是標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)配置的一部分。
主要特點(diǎn)
? 自動(dòng)晶圓2D視覺檢測(cè)系統(tǒng)
? 26.1MP 高分辨率攝像系統(tǒng)
? 配備明視野檢測(cè)方式
? 配備鐳射自動(dòng)聚焦模式
? 配備Nikon高倍率顯微鏡
? 高精準(zhǔn)XY工作臺(tái)(采用真空吸取晶圓)
? XY平臺(tái)具有防震功能
? Hirata 機(jī)械手臂
? Hirata 晶圓對(duì)準(zhǔn)器
? IOSS WID120 OCR 讀取器
? HEPA/ULPA (可選)
? TCP-IP和RS232數(shù)據(jù)接口/SECS/GEM數(shù)據(jù)通信(可升級(jí))