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WIS8000被設(shè)計用于檢測(目檢)8英寸和12英寸尺寸的晶圓。標(biāo)準(zhǔn) 設(shè)計配有兩個標(biāo)準(zhǔn)加載端口，可容納12英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)FOUP、12英 寸SEMI 標(biāo)準(zhǔn)FOSB和8英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓匣，也可以升級為 三個加載端口。操作員可使用此系統(tǒng)對晶圓進(jìn)行宏觀和微觀檢測， 并把檢測結(jié)果記錄在晶圓圖上。此系統(tǒng)還配有晶圓傳送能力以及 可對晶圓ID進(jìn)行讀取記錄。

主要特點 

? 專為8英寸和12英寸晶圓 

? 配 備 2 個可容納 FOUP/FOSB 的平田 (Hirata)FOUP端口，需要平田(Hirata)適 配器用于8英寸開放式晶圓匣。 

? 平田（Hirata）3軸單臂ATM機(jī)器手臂 

? 平田(Hirata)晶圓對位器(8英寸和12英寸 晶圓) 

? 配備真空吸盤的可編程XY工作臺 

? 晶圓圖系統(tǒng)和防振隔離平臺 

? IOSS WID120 OCR讀取器 

? TCP-IP和RS232數(shù)據(jù)接口/SECS/GEM數(shù)據(jù)通 信（可升級）