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WID150R主要是被設(shè)計用于讀取6英寸晶圓的ID。所讀取的晶圓ID 會直接儲存于PC或上傳至客戶的服務(wù)器里。該系統(tǒng)適用于6英寸 SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓匣，并配有內(nèi)置的可編程晶圓定向平面對準(zhǔn)， 以確保在掃描ID前晶圓處于正確的定向。此外，WID150R配備觸摸 面板PC和GUI定制。易于使用的軟件系統(tǒng)界面幫助用戶輕松進行操 作。

主要特點

?   專為6英寸晶圓設(shè)計

?   1個開放式晶圓匣（基于提供的樣本晶圓匣）

?   晶圓匣方向傳感器（檢測晶圓匣的反向放置），晶圓匣狀態(tài)和晶圓匣傾斜傳感器。

?   匣內(nèi)晶圓插槽映射功能

?   配備晶圓定向平面對位機構(gòu)

?   用于各種晶圓ID位置的可編程晶圓旋轉(zhuǎn)

?   批量晶圓ID讀?。ㄕ趁嬉约岸ㄏ蚱矫鎱^(qū)域的晶圓ID）

?   配方設(shè)置、對位和晶圓ID讀取

?   SECS/GEM通信工具（可選）