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WPS3800是被設(shè)計用于處理各種類型晶圓盒的包裝和拆封過程。此 系統(tǒng)適用于8英寸和12英寸晶圓。該系統(tǒng)配有兩個用于8英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓匣和12英寸FOUP晶圓匣或12英寸FOSB晶圓匣的加 載端口，兩個用于8英寸晶圓盒和12英寸晶圓盒的加載端口（可配 置1個晶圓盒和1個配備可選Cartesian機(jī)器人模塊的晶圓罐），以 及一個用于襯紙或隔離紙的端口（用于8英寸和12英寸晶圓的自動 轉(zhuǎn)換）。WPS3800內(nèi)置用于晶圓、襯紙或環(huán)形墊片檢測的視覺傳感 器，以及在晶圓盒和晶圓罐裝載端口上配備內(nèi)置高度傳感器，以 確保機(jī)器人在拾取和放置過程中的準(zhǔn)確性。

主要特點 

? 配備2個用于12英寸晶圓的FOUP/FOSB和用 于8英寸晶圓的開放式晶圓匣，配備晶圓突出檢測傳感器和對射式晶圓映射，2個用于各種類型的晶圓盒和晶圓罐的通用裝載站 

? 1個襯紙端口（在8英寸和12英寸襯紙之間自動轉(zhuǎn)換）

? 帶翻轉(zhuǎn)軸的平田（Hirata）4軸ATM機(jī)器臂， 翻轉(zhuǎn)軸（半徑-θ-高度-翻轉(zhuǎn)軸） 

? 內(nèi)置視覺傳感器，用于檢測晶圓、襯紙或墊片，內(nèi)置高度傳感器，用于檢測機(jī)器人操作精度 

? 晶圓罐搬運的Cartesian機(jī)器（可選） 

? 晶圓盒的晶圓環(huán)分離器處理模塊（可選）