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WPS3200是被設計用于處理各種類型晶圓盒的包裝和拆封過程。此 系統(tǒng)適用于6英寸和8英寸晶圓。該系統(tǒng)配備了用于晶圓定位和定 向的晶圓預對準器，以及用于OCR和二維碼讀取的晶圓ID讀取器。 此外，WPS3200還配備了用于晶圓、襯紙、隔離紙或環(huán)形墊片檢測 的內置視覺傳感器，以及高精度的機械臂和內置高度傳感器。系 統(tǒng)還搭配晶圓掃描和位置感測器，可在操作過程中檢測任何晶圓 交叉位置或晶圓疊片問題。

主要特點 

? 配備2個晶圓突出檢測傳感器（6英寸和8英 寸通用） 

? 配備2個晶圓盒站（可配置為1個晶圓盒和1 個晶圓罐，可選配Cartesian機械系統(tǒng)） 

? 1個襯紙或隔離紙端口（在6英寸和8英寸之 間自動轉換） 

? 平田（Hirata）4軸機械臂，具有晶圓翻轉 功能 

? 用于晶圓、襯紙或環(huán)形墊片檢測的內置顏 色傳感器，以及在盒和晶圓罐裝載端口上 用于機器人操作精度的內置高度傳感器， (“分離器晶圓盒”端口上的1個高度傳感 器。） 

? 晶圓罐搬運的Cartesian機器（可選） 

? 晶圓盒的晶圓環(huán)分離器處理模塊（可選）