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WSS8000是被設(shè)計用于傳送晶圓從晶圓匣至另外一個晶圓匣里。該 機器設(shè)計有兩個標(biāo)準(zhǔn)裝載端口，可裝載8英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓 匣、12英寸FOUP晶圓匣和12英寸FOSB晶圓匣。系統(tǒng)還搭配晶圓掃 描和位置感測器，可在操作過程中檢測任何晶圓交叉位置或晶圓 疊片問題。機械臂與末端執(zhí)行器集成，使用伯努利或真空抽吸類 型（取決于晶圓特征）將晶圓轉(zhuǎn)移到輸出晶圓匣。WSS8000能夠通 過晶圓ID分揀、順序分揀、拖放分揀、子批次晶圓分揀和槽對槽 分揀等五種分揀方式進行晶圓傳送。

主要特點 

? 能夠處理8英寸和12英寸晶圓 

? 采用五種分揀方式進行晶圓轉(zhuǎn)移 

? 兩個用于8英寸/12英寸尺寸的晶圓的FOUP 加載端口 

? 晶圓預(yù)對準(zhǔn)器，用于方向檢查和晶圓對準(zhǔn)， 以及可編程晶圓ID讀取器 

? IOSS WID120 OCR讀取器 

? 高速信息傳遞協(xié)議（HSMS-SS）點對點 

? 主機和設(shè)備之間的通信 

? 用于平面晶圓和凹口晶圓的高精度晶圓對準(zhǔn)器 

? (SECS/GEM) 兼容性定制軟件，用于晶圓圖 上傳/下載，易于從服務(wù)器檢索