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MPS2100是美國(guó)Chapman Instrument Inc.最新的高分辨率分析儀。 專門(mén)設(shè)計(jì)用于表面測(cè)量和分析，它既可以用作在線質(zhì)量檢查的生 產(chǎn)工具，也可以用作建立標(biāo)準(zhǔn)和研究公差的研發(fā)工具。MPS2100采 用與其他Chapman分析儀相同的非接觸測(cè)量技術(shù)，用戶可以快速進(jìn) 行高分辨率線性或圓形掃描?；赪indows的操作軟件功能強(qiáng)大、 易于操作的界面，可以通過(guò)編程來(lái)執(zhí)行一系列例行程序，并報(bào)告 在線生產(chǎn)數(shù)據(jù)以供進(jìn)一步分析。密碼安全和事件記錄/錯(cuò)誤記錄是 查普曼軟件的標(biāo)準(zhǔn)配置?？蛇x機(jī)器手臂搬運(yùn)150mm、200 mm和300 mm晶圓。

主要特點(diǎn) 

? 快速、全面的圓形掃描（圍繞晶圓表面 360°） 

? 用于高清晰度光學(xué)檢查的諾馬斯基 （Nomarski）觀察系統(tǒng) 

? 掃描長(zhǎng)度從μm到完整的圓周（8英寸或12英 寸晶圓） 

? 單次掃描獲取粗糙度和波紋度數(shù)據(jù) 

? 非接觸式3D掃描 

? 自動(dòng)樣本定位（X、Y、θ） 

? 通過(guò)一鍵實(shí)現(xiàn)多次掃描的自定義測(cè)量序列 

? 自動(dòng)對(duì)焦采集 

? 閉環(huán)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)允許在掃描不同地形的 樣品時(shí)保持對(duì)焦 

? 可選擇性機(jī)器手臂操作 

? TCP/IP網(wǎng)絡(luò)接口或SECS/GEM數(shù)據(jù)通信（可 選）