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ALPHA Plasma 在半導(dǎo)體和電子行業(yè)里是一個(gè)全球化運(yùn)營(yíng)的微波等離子系統(tǒng)設(shè)備供應(yīng)商

專注于為晶圓制造和芯片封裝產(chǎn)業(yè)提供先進(jìn)的低壓微波等離子技術(shù)。

目標(biāo)不僅僅是提供精密設(shè)備，更是為客戶提供一個(gè)能改進(jìn)工藝的一站式等離子解決方案。

ALPHA Plasma 的Q系列產(chǎn)品

主要包括批處理式的2.45Ghz微波等離子去膠機(jī)，可以快速且無害的去除光刻膠。

并且可以滿足大多數(shù)在Descum過程中對(duì)一致性的嚴(yán)格要求。

除此之外，當(dāng)Alpha Plasma Q系列產(chǎn)品配置一個(gè)晶圓用的加熱卡盤時(shí)，它同樣可用于單片晶圓的其他苛刻應(yīng)用，比如SU-8,PI去除等。