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WSS2200設(shè)計(jì)有四個(gè)標(biāo)準(zhǔn)加載端口，適用于6英寸和8英寸的晶圓。 端口設(shè)計(jì)用于處理6英寸和8英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓匣。此系統(tǒng)主要功能是傳送晶圓，從一個(gè)晶圓匣傳送至另一個(gè)晶圓匣里。搭配平田（Hirata）機(jī)器手臂，并擁有X、Y和Z軸的移動(dòng)控制器。從輸入加載端口加載的晶圓傳輸至預(yù)對(duì)準(zhǔn)器進(jìn)行晶圓定向檢查并由 OCR讀取對(duì)準(zhǔn)的晶圓ID，并通過TCP/IP或SECS/GEM記錄到PC/服務(wù) 器中。

主要特點(diǎn) 

? 設(shè)計(jì)用于6英寸和8英寸的SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式 晶圓匣，配備四個(gè)加載端口 

? 雙臂平田（Hirata）自動(dòng)晶圓裝載機(jī)/卸載 機(jī)（機(jī)器人），內(nèi)置晶圓映射傳感器 

? 用于定向檢查和晶圓對(duì)準(zhǔn)的晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器， 以及可編程晶圓ID讀取器 

? 可編程晶圓分揀配方和機(jī)器人控制器 

? 可編程分揀方法，例如晶圓 ID 分揀、順序分揀、槽對(duì)槽分揀、拖放分揀和子批次分揀 

? TCP-IP、RS232 數(shù)據(jù)接口和 SECS GEM 接口（可選）