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WSM1200是專設(shè)計(jì)為晶圓表面做精確測(cè)量的高端設(shè)備。系統(tǒng)具有單 個(gè)晶圓裝載端口，可適用于6英寸和8英寸的SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓 匣。系統(tǒng)還配有HIRATA三軸機(jī)械臂（半徑、旋轉(zhuǎn)、高度），晶圓 預(yù)對(duì)準(zhǔn)器和掃描傳感器，可以提供更高性能和有效地對(duì)晶圓進(jìn)行 處理。擁有卓越的晶圓表面檢測(cè)功能，搭配了最新型SENSOFAR S NEOX 3D光學(xué)輪廓儀，可以高速采集測(cè)量數(shù)據(jù)達(dá)180FPS。S NEOX傳 感器還配置高端測(cè)量技術(shù)如共聚焦、Ai多焦面疊加、光學(xué)干涉等， 并最大程度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)。系統(tǒng)裝置了精密氣浮防震 臺(tái)，可以有效地對(duì)晶圓表面采集更精確的測(cè)量數(shù)據(jù)。

主要特點(diǎn) 

? 專用于6英寸和8英寸的晶圓 

? 一個(gè)SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓匣的負(fù)載端口 

? 平田（Hirata）3軸單臂ATM機(jī)器手臂 

? 平田（Hirata）預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 

? IOSS WID120 OCR讀取器 

? SENSOFAR S NEOX 3D光學(xué)輪廓儀 

? 10倍率和20倍率顯微鏡 

? 精密氣浮防震臺(tái) 

? TCP/IP網(wǎng)絡(luò)接口或SECS/GEM數(shù)據(jù)通信（可 選）