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WTS100G設(shè)計(jì)用于對晶圓進(jìn)行批量傳送。系統(tǒng)具有傳送模式如批量 傳送（25片晶圓直接從開放式晶圓匣傳送至另一個開放式晶圓 匣）、分開模式、合并模式或翻轉(zhuǎn)4英寸晶圓和6英寸晶圓。它由 兩個加載端口組成，一個載入加載端口和一個載出加載端口。加 載端口配備高精度傳感器，用于晶圓位置掃描感測和晶圓匣放置 檢測。根據(jù)該工具的分揀方法，晶圓從4英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓 匣轉(zhuǎn)移到4英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式/翻蓋式晶圓匣，或從6英寸SEMI標(biāo) 準(zhǔn)開放式晶圓匣轉(zhuǎn)移到6英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式/翻蓋式晶圓匣。 

主要特點(diǎn) 

? 專為4英寸和6英寸晶圓設(shè)計(jì) 

? 晶圓匣類型：SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放式晶圓匣和翻 蓋式晶圓匣 

? 由兩個負(fù)載端口（一個輸入端口和一個輸 出端口）組成 

? 內(nèi)置可編程晶圓定向平面對準(zhǔn) 

? 匣內(nèi)晶圓映射功能 

? 從輸入晶圓匣到輸出晶圓匣的批量晶圓轉(zhuǎn) 移 

? 單晶圓分揀（順序晶圓排列） 

? 批量晶圓合并（奇數(shù)+偶數(shù)插槽） 

? TCP/IP網(wǎng)絡(luò)，用于與主機(jī)地圖服務(wù)器接口， 并通過網(wǎng)絡(luò)存儲地圖數(shù)據(jù) 

? SECS/GEM通信工具（可選）