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WSS3200設(shè)計適用于處理8英寸 晶圓。設(shè)備具有2個SMIF Pod Opener做為裝載端口，主要用于晶圓傳送。該系統(tǒng)采用Hirata雙 臂ATM機(jī)器，并配備了一個晶圓預(yù)對準(zhǔn)器，用于判定晶圓的定位和 方向，以及用于OCR讀取。所有晶圓傳送模式都可以通過程序編程， 傳送模式如晶圓排序分揀，順序分揀和槽對槽分揀。 易于操作的 系統(tǒng)界面，設(shè)備也可通過TCP/IP或SECSGEM方式與客戶服務(wù)器進(jìn)行 連接，用于上傳相關(guān)數(shù)據(jù)。

主要特點 

? 設(shè)計用于8英寸晶圓處理 

? 兩個8英寸 SMIF Pod Opener

? 額外兩個非SMIF-Pod晶圓匣適配器 

? Hirata 4軸ATM雙臂機(jī)器，內(nèi)置晶圓映射傳感器 

? 用于定向檢查和晶圓對準(zhǔn)的晶圓預(yù)對準(zhǔn)器

? IOSS WID120 OCR讀取器 

? 可編程分揀方法包括晶圓選擇排序、順序 分揀和槽對槽分揀 

? TCP/IP 網(wǎng)絡(luò)接口或 SECS/GEM 數(shù)據(jù)接口 ( 可選) 

? 符合ISO 5和6級的HEPA/ULPA過濾器(可選)