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WIS1100

WIS1100被設(shè)計(jì)用于檢測(cè)(目檢)4英寸和6英寸的晶圓尺寸,用于半 導(dǎo)體行業(yè)的光學(xué)檢查、晶圓圖和瑕疪分類管理。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)配有一 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)加載端口,可容納4英寸和6英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)開(kāi)放式晶圓匣。 該系統(tǒng)配有高性能的前后晶圓宏觀檢測(cè)系統(tǒng),包括微觀檢測(cè)系統(tǒng)。 此外,微觀檢測(cè)系統(tǒng)集成了尼康EclipseL200N和5個(gè)電動(dòng)物鏡。 晶圓對(duì)準(zhǔn)器是為了確保晶圓定位的準(zhǔn)確性和用于晶圓IDOCR讀取。 另外,可選擇升級(jí)噴墨打標(biāo)系統(tǒng),用于標(biāo)記在已檢測(cè)的瑕疵芯片。


主要特點(diǎn)

?   專為4英寸和  6英寸晶圓設(shè)計(jì)

?   微觀和宏觀檢查(包括背面宏觀檢查)

?   明視野、暗視野和NIC模式

?   自動(dòng)加載器和顯微鏡

?   帶有5個(gè)物鏡的電動(dòng)換鏡旋座(2.5x,5x,10x,20x,50x)

?   配備晶圓離子中和器和可編程XY工作臺(tái)

?   配備晶圓對(duì)準(zhǔn)器和晶圓映射

?   噴墨打標(biāo)機(jī)進(jìn)行瑕疪標(biāo)記(可升級(jí))

?   配備配方控制模塊、晶圓圖、匣式圖和顯微鏡組件控制的軟件用戶界面。

?   TCP-IP和RS232數(shù)據(jù)接口/SECS/GEM數(shù)據(jù)通信(可升級(jí))