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大多數(shù)透明體檢測(cè)系統(tǒng)僅使用紫外線檢查表面有無(wú)涂層，并使用某些測(cè)量?jī)x測(cè)量某些特定點(diǎn)的材料厚度，但無(wú)法提供改進(jìn)工藝所需的準(zhǔn)確可靠的數(shù)據(jù)。此外，傳統(tǒng)的激光共聚焦或電子顯微鏡系統(tǒng)雖然可以進(jìn)行三維形狀測(cè)量，但在透明體的厚度檢測(cè)方面存在局限性。

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