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FC300是適用于FOPLP封裝生產(chǎn)的，對(duì)應(yīng)大型面板上片的上片機(jī)。
Face Up/Face Down上片模式切換簡(jiǎn)便，也可對(duì)應(yīng)多種晶圓的混載制程。

高品質(zhì)?高生產(chǎn)性

? 通過(guò)新研發(fā)的Dual Gantry Drive實(shí)現(xiàn)設(shè)備的高精度?高生產(chǎn)性。

? 通過(guò)搭載高分辨率視覺(jué)系統(tǒng)提高芯片位置辨識(shí)的精度。

大型面板對(duì)應(yīng)

? 可對(duì)應(yīng)最大面板尺寸為750×750mm，最大上片區(qū)域?yàn)?70×670mm。

? 在上片平臺(tái)處搭載面板對(duì)位功能。

豐富的制程對(duì)應(yīng)

? 通過(guò)對(duì)應(yīng)多晶圓（生產(chǎn)參數(shù)切換/治具更換）實(shí)現(xiàn)多芯片生產(chǎn)。

? 通過(guò)EFEM連接的面板搬送對(duì)應(yīng)實(shí)績(jī)豐富。