FC300是適用于FOPLP封裝生產的,對應大型面板上片的上片機。
Face Up/Face Down上片模式切換簡便,也可對應多種晶圓的混載制程。
高品質?高生產性
? 通過新研發(fā)的Dual Gantry Drive實現設備的高精度?高生產性。
? 通過搭載高分辨率視覺系統提高芯片位置辨識的精度。
大型面板對應
? 可對應最大面板尺寸為750×750mm,最大上片區(qū)域為670×670mm。
? 在上片平臺處搭載面板對位功能。
豐富的制程對應
? 通過對應多晶圓(生產參數切換/治具更換)實現多芯片生產。
? 通過EFEM連接的面板搬送對應實績豐富。