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典型應(yīng)用：

等離子清洗，適合于小體積產(chǎn)品，小批量生產(chǎn)和實驗室使用

? 改善Die Bonding
? 改善Wire Bonding
? 改善錫球焊接
? 改善倒裝底部填充（FC Underfill）
? 改善塑封（Molding）/封膠

技術(shù)規(guī)格： 

 ?等離子源：2.45Ghz微波等離子源，600W 

?腔體：鋁.長250mm，寬250mm，深290mm，18L 

?外觀尺寸：長530mm，寬600mm，高550mm 

?處理氣體：1路氣體+數(shù)字MKS流量控制器 

?真空腔門：鉸鏈門+觀察窗 

?觀察窗UV與微波屏蔽保護(hù) ?GUI 7"觸摸屏，Window CE操作系統(tǒng) 

 選項： 

?進(jìn)口干泵系統(tǒng)（含相關(guān)附件）

?信號燈塔-紅黃綠三色 

?額外的處理氣體線路-最多至4路氣體 

?旋轉(zhuǎn)臺-φ200mm，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào) 

?ECR機(jī)構(gòu) 

?包裝，運(yùn)輸