1臺(tái)NXT-H可以同時(shí)對(duì)應(yīng)晶圓、盤(pán)裝料、帶裝料。只要簡(jiǎn)單地更換供料器材,供料方式就可以徹底改變(以輸送帶裝料為主或以輸送盤(pán)裝料、晶圓為主)。
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