ASTRO PACTO-W
全自動(dòng)微波等離子晶圓去膠/清洗機(jī)
光刻膠去除 帶加熱盤
PI 和 SU 8 等環(huán)氧樹脂類膠去除 帶加熱盤
MEMS/Micro LED 犧牲層去除 PI Release
DESCUM 打底膜去浮渣
晶圓表面活化 去除氧化物 有機(jī)物
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