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WTS300G設(shè)計(jì)用于對(duì)晶圓進(jìn)行批量傳送。系統(tǒng)具有傳送模式如批量 傳送（25片晶圓直接從開放式晶圓匣傳送至另一個(gè)開放式晶圓 匣）、分開模式、合并模式或翻轉(zhuǎn)6英寸晶圓和8英寸晶圓。適用 晶圓匣類型為有26個(gè)插槽、25個(gè)插槽和13個(gè)插槽的SEMI標(biāo)準(zhǔn)開放 式晶圓匣。它由四個(gè)加載端口組成，其中三個(gè)為載入加載端口， 一個(gè)為載出加載端口。該系統(tǒng)配備高精度反射式傳感器，用于檢 測(cè)晶圓突出。

主要特點(diǎn) 

? 專為6英寸和8英寸晶圓設(shè)計(jì) 

? 四個(gè)加載端口可用于垂直放置的開放式晶 圓匣的晶圓分揀 

? 電動(dòng)夾持器模塊配備25槽梳子，用于晶圓 轉(zhuǎn)移、分割、合并和翻轉(zhuǎn)過程 

? 配備可靠的匣映射傳感器、晶圓突出傳感 器和匣放置傳感器。 

? 產(chǎn)品配方由用戶友好的 GUI 軟件管理 

? TCP/IP網(wǎng)絡(luò)，用于與主機(jī)地圖服務(wù)器接口， 并通過網(wǎng)絡(luò)存儲(chǔ)地圖數(shù)據(jù) 

? SECS/GEM通信工具（可選）