WPS3200是被設(shè)計用于處理各種類型晶圓盒的包裝和拆封過程。此 系統(tǒng)適用于6英寸和8英寸晶圓。該系統(tǒng)配備了用于晶圓定位和定 向的晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,以及用于OCR和二維碼讀取的晶圓ID讀取器。 此外,WPS3200還配備了用于晶圓、襯紙、隔離紙或環(huán)形墊片檢測 的內(nèi)置視覺傳感器,以及高精度的機(jī)械臂和內(nèi)置高度傳感器。系 統(tǒng)還搭配晶圓掃描和位置感測器,可在操作過程中檢測任何晶圓 交叉位置或晶圓疊片問題。
主要特點
? 配備2個晶圓突出檢測傳感器(6英寸和8英 寸通用)
? 配備2個晶圓盒站(可配置為1個晶圓盒和1 個晶圓罐,可選配Cartesian機(jī)械系統(tǒng))
? 1個襯紙或隔離紙端口(在6英寸和8英寸之 間自動轉(zhuǎn)換)
? 平田(Hirata)4軸機(jī)械臂,具有晶圓翻轉(zhuǎn) 功能
? 用于晶圓、襯紙或環(huán)形墊片檢測的內(nèi)置顏 色傳感器,以及在盒和晶圓罐裝載端口上 用于機(jī)器人操作精度的內(nèi)置高度傳感器, (“分離器晶圓盒”端口上的1個高度傳感 器。)
? 晶圓罐搬運(yùn)的Cartesian機(jī)器(可選)
? 晶圓盒的晶圓環(huán)分離器處理模塊(可選)