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WIS1100被設(shè)計用于檢測(目檢)4英寸和6英寸的晶圓尺寸，用于半 導體行業(yè)的光學檢查、晶圓圖和瑕疪分類管理。標準設(shè)計配有一 個標準加載端口，可容納4英寸和6英寸SEMI標準開放式晶圓匣。 該系統(tǒng)配有高性能的前后晶圓宏觀檢測系統(tǒng)，包括微觀檢測系統(tǒng)。 此外，微觀檢測系統(tǒng)集成了尼康EclipseL200N和5個電動物鏡。 晶圓對準器是為了確保晶圓定位的準確性和用于晶圓IDOCR讀取。 另外，可選擇升級噴墨打標系統(tǒng)，用于標記在已檢測的瑕疵芯片。

主要特點

?   專為4英寸和  6英寸晶圓設(shè)計

?   微觀和宏觀檢查（包括背面宏觀檢查）

?   明視野、暗視野和NIC模式

?   自動加載器和顯微鏡

?   帶有5個物鏡的電動換鏡旋座（2.5x，5x，10x，20x，50x）

?   配備晶圓離子中和器和可編程XY工作臺

?   配備晶圓對準器和晶圓映射

?   噴墨打標機進行瑕疪標記(可升級)

?   配備配方控制模塊、晶圓圖、匣式圖和顯微鏡組件控制的軟件用戶界面。

?   TCP-IP和RS232數(shù)據(jù)接口/SECS/GEM數(shù)據(jù)通信（可升級）