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WID100R主要是被設計用于讀取4英寸晶圓的ID。所讀取的晶圓ID 會直接儲存于PC或上傳至客戶的服務器里。該系統(tǒng)適用于4英寸 SEMI標準開放式晶圓匣，并配有內(nèi)置的可編程晶圓定向平面對準， 以確保在掃描ID前晶圓處于正確的定向。此外，WID100R配備觸摸 面板PC和GUI定制。易于操作的用戶系統(tǒng)界面幫助用戶輕松進行操作。 

主要特點 

? 專為4英寸晶圓設計 

? 1個開放式晶圓匣（基于提供的樣本晶圓匣） 

? 晶圓匣方向傳感器（檢測晶圓匣的反向放 置），晶圓匣狀態(tài)和晶圓匣傾斜傳感器。 

? 匣內(nèi)晶圓插槽映射功能 

? 配備晶圓定向平面對位機構 

? 用于各種晶圓ID位置的可編程晶圓旋轉 

? 批量晶圓ID讀?。ㄕ趁嬉约岸ㄏ蚱矫鎱^(qū) 域的晶圓ID） 

? 配方設置、對位和晶圓ID讀取 

? SECS/GEM通信工具（可選）