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PPI3300被設(shè)計用于檢測8英寸和12英寸圖案晶圓表面缺陷，如劃 痕、墨點污跡、刮傷、水痕和芯片邊緣裂紋。系統(tǒng)采用分辨率為 26.1MP的高速 CMOS相機和 CoaXPress接口。5120x5120高分 辨率、90FPS的高速和全局快門的組合為檢測應(yīng)用創(chuàng)造了新標準。 CF物鏡用于在保持高NA的同時延長聚焦距離，從而生成清晰、對 比度和分辨率高的圖像。晶圓XY檢測平臺集成了旋轉(zhuǎn)臺和抗震平 臺，可提供準確檢測和高產(chǎn)量。自動裝載、用于OCR和二維碼讀 取的晶圓ID讀取器以及自動缺陷檢測都是標準系統(tǒng)配置的一部分。

主要特點

?   自動晶圓2D視覺檢測系統(tǒng)

?   26.1MP  高分辨率攝像系統(tǒng)

?   配備明視野檢測方式

?   配備鐳射自動聚焦模式

?   配備Nikon高倍率顯微鏡

?   高精準XY工作臺(采用真空吸取晶圓)

?   XY平臺具有防震功能

?   Hirata  機械手臂

?   Hirata  晶圓對準器

?   IOSS  WID120  OCR  讀取器

?   HEPA/ULPA  (可選)

?   TCP-IP和RS232數(shù)據(jù)接口/SECS/GEM數(shù)據(jù)通信（可升級）